«エッチング» 관련 일본어 책
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図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み: 製造装置の全体を俯瞰する
ゥエー八の動きを中心に書いたエッチング装置の概念図が図表 6 - 1 - 1 の右側の図です。この図は単純ィ匕した例でエッチングチャンバ一がひとつの装置を描し、てあります。そのため、搬送ロボッ卜はロードポー卜からエッチングチャンバ一にゥエー八を搬送する ...
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図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み: - 112 ページ
寸法変換差^ ^ ^ ^ ^ ^エッチングで一番重要なのはリソグラフィープロセスで形成したレジス卜の寸法から、どれだけエッチング後の寸法が変化してしまうのかということです。これを寸法変換差といいます。 0 エッチングプロセスフローとこの章ではドライエッチング ...
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図解入門よくわかる最新半導体の基本と仕組み: 半導体/LSIテクノロジー入門
3 次元微細加工のエッチングとは?ウエッ卜エッチング、ドライエッチング、反応性イオンエッチングエッチングは、薬品やイオンの化学反応(腐食作用)を使って、形成した薄膜を形状加工する工程です。エッチング方法には、コス卜が安くて生産性が高いゥエッ卜 ...
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よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み: プロセスの全体を俯瞰する : あなたの知らない半導体の秘密がわかる
この章ではドライエッチングを工ッチングと称して話を進めます。ウェットエッチングについては 39 で簡単に触れました。まずはエッチングプロセスフローから説明します。図表 6 -ー-ーにフローを示しますが、ます丶レジストノてターンをリソグラフイ工程で被 ...
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プラズマ半導体プロセス工学: 成膜とエッチング入門
プラズマCVDとエッチング技術の基礎を整理,解説
市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力, 2003
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CPU自作入門: HDLによる論理設計・基板製作・プログラミング
オリジナルCPUを実装し、FPGA基板を製作し、プログラムを動作させるまでの過程を詳しく解説。
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高校化学からはじめる半導体 - 186 ページ
[キーワード]溶液で半導体や金属を溶かすウエットエッチング.微細加工に用いられる。気体イオンを用いたドライエッチング(反応性イオンエッチング)。 1 - 2.8 で復習したように水素よりイオン化傾向の大きな金属を希塩酸などの酸につけると溶けますが。このように ...
転写されたパターンをマスクとしてエッチングが行われます。銅版画のエッチングと同じ原理ですが、寸法が a m 以下の精度が要求されます。とくにトランジスターの寸法制御は、性能の均一性に影響するために厳しく管理されています。エッチングには、溶液を ...
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Kōjō jidōka jiten - 587 ページ
ドライエッチングの分類チングガス圧力(丁 01 ^エッチングガスエッチング機構エッチング幅リ加)プラズマ 10—10-1 ( ^ , , ( ^ぷじレ等化学反応ン 3 ガス I ,ソードカ 7 プリング式アノード力ソ 814.22 反応性イオンエッチングブリング式反応性イオンェ' ...
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Westoneのカスタムイヤホン「ESシリーズ」がカスタムレーザーエッチング …
テックウインドは、Westoneのカスタムイヤホン「ESシリーズ」（関連ニュース）のオプションとして、「カスタムレーザーエッチング」を ... ESシリーズは、これまでもリフレクションのレーザーエッチングが可能だったが、デザインは用意された24種類から選ぶかたちと ... «Phile-web, 9월 15»
AMAT、原子レベルの精度で副生成物の除去を実現したエッチング装置を …
Applied Materials(AMAT)は7月13日(米国時間)、原子レベルの精密加工を実現する新型チャンバを搭載した次世代エッチング装置「Applied Centris Sym3」を発表した。 同装置は、同社のこれまでのノウハウと精密除去技術における専門知識をもとに、新たな ... «マイナビニュース, 7월 15»
ラムリサーチ、高アスペクト比絶縁膜エッチング向け Flex(TM) G シリーズ …
NASDAQ：LRCX、本社：米国カリフォルニア州フレモント、社長兼CEO：Martin Anstice）は本日、DRAMや3D NAND デバイスの更なる微細化を可能にする高アスペクト比（high-aspect-ratio；HAR）絶縁膜エッチング向けのFlex(TM) Gの発売を発表しました。 «dot., 7월 15»
食べ物のトルティーヤをレーザー光線でエッチングして演奏可能なレコード …
食べ物のトルティーヤをレーザー光線でエッチングして演奏可能なレコードに変える. レーザーカッターは物を正確に切るほか、画像を木に刻印したりもできます。そこで、メキシコ料理の「トルティーヤ」に使われる円盤形の皮をレーザーカッターで加工して、アナログ ... «GIGAZINE, 7월 15»
「チェーザレ」約2年ぶり新刊は初の限定版も、エッチングしおりなど付属
シエナ・ピッコロミニ邸でのチェーザレが描かれた「メタル製プレミアムエッチングしおり」と、豪華な衣装をまとったチェーザレが裏面に、1492年当時のサン・ピエトロが表面にあしらわれた「プレミアムポストカード」が付いてくる。なお「チェーザレ」の連載は今夏に ... «ナタリー, 1월 15»
日立ハイテク、先端のシリコンエッチング装置などをアピール
コンダクターエッチング装置「M-8000」シリーズは32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置。先端デバイスメーカーや材料・装置メーカーとのJDP（共同開発事業）によりダブルパターニングをはじめとする新プロセスや高誘電率ゲート ... «＠IT MONOist, 12월 14»
日本マクダーミッド、六価クロム使わないエッチングプロセス発売
同製品は強酸酸性薬品と金属酸化剤を主原料にした六価クロムフリーエッチング薬剤で、代替薬剤の過マンガン酸タイプとは異なる。六価クロム、有機フッ素化合物（ＰＦＯＳ）、発がん性などがある高懸念物質（ＳＶＨＣ）など欧州における規制物質の不使用に対応 ... «日刊工業新聞, 10월 14»
三友製作所、局所的にエッチング加工できる卓上プラズマエッチング加工 …
【水戸】三友製作所（茨城県常陸太田市、加藤木克也社長、０２９４・７２・２２４５）は、局所的にエッチング加工できる「マイクロプラズマ技術」と加工後のかすを少なくできる「吸引プラズマ技術」を導入した卓上タイプのプラズマエッチング加工装置（写真）を発売した。 «日刊工業新聞, 8월 14»
Lam Research、ALDプロセスの製品ラインに原子層エッチングを追加
米Lam Researchは7月7日(米国時間)、原子層堆積(ALD)関連製品ラインに、原子層エッチング(ALE)を追加したと発表した。 機構サイズの縮小や、次世代デバイスアーキテクチャの導入が進む中で、製造におけるプロセス変動の制御はさらに困難になっている ... «マイナビニュース, 7월 14»
遷移金属や磁性体の高精度無損傷化学反応エッチング技術の開発に …
そこで、東北大学の寒川教授グループは東京エレクトロン㈱と共同で、寒川教授が独自に開発した中性粒子ビーム注５）を用いた酸化・金属錯体反応による遷移金属、磁性体膜の化学反応エッチングを提案し、世界で初めてタンタル（Ｔａ）、ルテニウム（Ｒｕ）、 ... «科学技術振興機構, 6월 14»
