«レーザー‐スパッタリング» 관련 일본어 책
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日本金属学会誌 - 第 73 巻 - 437 ページ
波長板( RP )はレーザの偏光を変えて、 BS2 において加熱レーザの反射光を遮蔽し、且つ熱反射信号を通す役割をしている。 ... 薄膜の熱伝導率評価を試みた膜厚 300 nm の Cu ( 1 - x - Ptx 合金をガラス基板上に DC スパッタリング成膜したものを試料とした。
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Technology reports of the Kyushu University - 第 75 巻 - 67 ページ
V ^素子用としての^ - I ^ , 1 ^卜 1 : 0 スパッタ膜の析出挙動,磁気特性,結晶構造について検討し, X 3112 ? 02 の添加は垂直 ... さらに,高エネルギ一積磁石の着磁法としてレーザによる微細着磁技術を考案し,希土類磁石への適用可能性を確認した.第 4 章では, ...
Kyūshū Daigaku. Kōgakubu,
2002
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図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み: リソグラフィ技術の核心に迫る
スパッタリングとは成膜したい材料をターゲットとしてカソード側に置き、 A 「プラズマ中で併イオンをぶつけることにより、はじき出して、 ... その後に、これは任副薄膜太陽電池特有のプロセスですがリソグラフィを用いることなく、レーザアブレーションで透明電極を ...
52 バンドギャップ波長......... 50 バンドー不純物準位間遷移......... 150 反応性スパッタ............... 138 非可干渉光- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 150 光起電力効果............... 160、172 光の共振器- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 167 ...
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図解入門よくわかる最新薄膜の基本と仕組み: - 77 ページ
1852- ―気相成長法「驪きレスパッタ法-化学的堆積法- -多元同時蒸着フラッシュ蒸アーク蒸発卜単純物理蒸着ョ法(多溫度法)レーザアブレーシヨン反応性スパッタ法同時スパッタ法^単純スパッタ法のじ闩ド) |「イオンビームスパッタ法 1 中性ビームスパッタ法 ...
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図解入門よくわかる最新電子材料の基本と仕組み: - 32 ページ
それとともに、異物を持ち込まない真空プロセスを使用したドライエッチング、スパッタリングというプロセスが使用されるようになります。 1990 年からサブ ... 0.25 〃^からフッ化クリプ卜ン^「闩のエキシマレーザ光源を使用するようになりました。 0.171 を超えるよう ...
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先端光技術入門: ナノフォトニクスに挑戦しよう
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図解入門よくわかる最新熱処理技術の基本と仕組み: 金属の資質を引き出す技術の基本を学ぶ
イオンプレ一テイングスパッタリング-熱^ 0 プラズマ〜。光( :ゾロ「抵抗 ... プラズマ〇ゾ 0 1 ~マイクロ波プラズマ 1 ^ 0 4 ~紫外線励起〇ゾ 0 1 ~レーザ 0 ゾ 0 〔 2 〕比較:各種改質プロセスの特徴表面改質技術 物理的効果で金属の薄膜を生成する. 〔!〕表面改質 ...
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Journal of the Faculty of Engineering, University of ...
現在,全出力 100 】級(ピーク出力 6 ^級)の長パルス高出力じ 02 レーザ,システムの完成,および,それによる重水素ペレットの照射実験 ... 本研究においては陰極表面と平行な磁界(数百ガウス)を加えた場合,陰極金厲の激しいスパッタ作用(マグネトロンスパッタ)が ...
Tōkyō Daigaku. Kōgakubu,
1982
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図解入門よくわかる最新真空の基本と仕組み: - 155 ページ
... 八"ッタリング抵抗加熱法誘導加熱法電子ビーム加熱法|直流法^高周波法(反応性スパッタリング)マグネ卜ロン方式物理化学的一" ... V 。減圧じゾ 0 プラズマ^ 0 プラズマ重合プラズマ高分子化レーザ 0 リ 0 1 \ ^ 31 : 1 : 0 乂法高周波励起法 I " 100 法クラスタ ...