«かがくきそう‐せいちょうほう» संबंधित जपानी पुस्तके
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図解入門よくわかる最新薄膜の基本と仕組み: - 80 ページ
気相成長法や蒸着が圧倒的なシェアを占める I 參装置の複雑化、複合化が進む傾向にある。薄膜形成 ... 前は物理気相成長あるいは物理蒸着( ^^~0^^く 300 「ひ 6130311 :一 0 コ)の、後者は化学気相成長あるいは化学蒸着( " : : -ソロ: 0116 ョー 031 く 3 で ...
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高校化学からはじめる半導体 - 132 ページ
その一種で,有機金属原料を用いる有機金属気相堆積法これまで紹介した結晶成長法では,作りたい物質を融解・溶解するかあるいは蒸発・昇華させ,それを結晶化させていました.これらのプロセスでは,成長させる物質の構成元素だけが関与し,主にその状態変化 ...
表面に化合物半導体薄膜を用いたウエハーの量産的な作製には、有機金属メタルオーガニック化学成長法が用いられます。この方法は、原料に有機金属(metal organic)を用いた化学気相推積法( demiáva 説 rádoá : CVD 法)の頭文字をとって MOCVD (有機 ...
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よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み: プロセスの全体を俯瞰する : あなたの知らない半導体の秘密がわかる
或國丿ヾラメ〝整え ~法がある成膜プロセス前の項で述べたように LS ーには半導体膜、配線膜、絶縁膜など様々な膜があります。また、成膜するシリコン基板の下地の ... Siti 。 n の略で化学的気相成長法などと訳されています。 PVD は PhySiCa ー Vap。r 囗 ...
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これで半導体のすべてがわかる!: - 102 ページ
1!00 (物理気相成長法)。じ V 。が化学的なのに対して、物理的手法によって薄膜を堆積させる方法。半導体製造においては、シリコン酸化腆、シリコン窒化膜.アモルフアスシリコン薄膜などの製造に用いる。熱を加え溫度を上げて堆積する「熱じ V 0 」、化学反応 ...
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Intermediate Technical Japanese, Volume 1: Readings and ...
このように,気体の熱分解により膜を生成する方法を化学蒸着法,ないしは化学気相成長,略して 0 : \ ^という.気相成長法,反応性蒸着などともよぶ.上記のもののほかに, 3 ぬ 2 , 313^45 ^1203, 3105 0& ^ ,んぶ&&八 8 など主に半導体工業で用いられている膜の ...
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図解入門よくわかるナノテクノロジーの基本と仕組み: 超微細スケールの世界
ンド 1521153 113〜115.155.1661176 科学技術基本計画 181144 科学技術振興機構 139 化学気相成長法 50 化学センサー 138 可視光 44 カプセル型内視鏡 126 環境リスク評価 174.175.177 干渉効果 38 カンチレバー 61.64 北浦和夫 107 軌道 ...
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図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み: - 128 ページ
気相で化学反応を用いるのが大きな特徴であり、そのために上記のようなメリッ卜があるといった方がいいかもしれません。 ... このうち、じソ口とあるのは( :り 6 阳ヒ 31 ソヨロ 0 「 06 卩 05 は 1011 の略でィ匕学的気相成長法などと訳されています。 1 = ^ 0 は卩!
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工業化学雑誌: - 第 71 巻 - 13 ページ
一般の気相化学反応による結品の研摩と成長法に,これらの知兌を役立てよ 5 とする。^相研摩は適当な装^と研摩ガスを使用すれば,気相成お遍用の^が』'に同^ -装^内で操作できるため,汚染の少ない理想的方法である。このとき研摩ガスとしては.シリコンと反応 ...
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発光ダイオードが一番わかる - 46 ページ
LPE 法(液相成長法、 Liquid Phase Epitaxy)液相ー固相の化学平衡を利用した結晶成長法で、高品質な半導体結晶が得られます。また成膜速度が ... VPE 法(気相成長法、 Vapor Phase Epitaxy)成膜速度が速く厚膜成長を得意としています。主に GaAsP ...
