Wypluć
Rozpylanie, znane także jako napylanie / powlekanie, polega na fizycznej technice osadzania pary, w której atomy w stałym docelowym "celu" (lub źródle "źródłowym") są poddawane działaniu jonów o wysokiej energii (zazwyczaj z osocza ) Aby uderzyć fizyczny proces pozostawienia ciała stałego w gazie. Zazwyczaj rozpylanie odbywa się w systemie próżniowym napełnionym obojętnym gazem, działaniem pola elektrycznego wysokiego napięcia, tak że jonizacja argonu, powodująca przepływ jonu argonu, bombardowanie docelowej katody, rozlania docelowych atomów materiału lub wytrącanie cząstek zgromadzonych w półprzewodnikowych płytkach lub szkle , Ceramika i powstawanie cienkiej warstwy. Zaletą napylania jest to, że cienkie folie z materiałów o wysokiej temperaturze topnienia mogą być wytwarzane w niższych temperaturach i pozostawać nienaruszone podczas przygotowywania stopów i filmów złożonych i były szeroko stosowane w produkcji urządzeń półprzewodnikowych i układów scalonych. W tym: ▪ rozpylanie DC ▪ aktywne rozpylanie ▪ napylanie RF ▪ rozpylanie fazowe ▪ rozpylanie magnetyczne ▪ rozpylanie w wysokiej temperaturze ▪ rozpylanie próżniowe