«モノシラン» 관련 일본어 책
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化学実験における事故例と安全: - 131 ページ
2-128 CVD装置におけるモノシランの発火事故情報化学物質モノシラン化学反応化学操作等その他バルブの操作事故の種類自然発火,火災被害死傷者物的被害機器一部焼損事故の概要研究所でモノシラン使用の実験の際,CVD 装置のバルブの誤操作 ...
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日本経済とマイクロエレクトロニクス: 長期予測中間報告 - 130 ページ
モノシラン法の場合は粗製シリコンを水素中でマグネシウムと反応させて作った合金に、塩化アンモニウム〜出^を反応させモノシラン(お出) (気体)を得る。これをやはり数回蒸留、精製して純度を高め、高圧電流を流し加熱したシリコンの針金のまわりに送り込む ...
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図解入門よくわかる最新電子材料の基本と仕組み: - 61 ページ
特殊ガスには四塩化ケィ素( 31 ひん、ジクロルシラン( 3 旧 2 〇レ)、モノシランほ旧り、シラン、丁巳 03 、亜酸化窒素( ! ^り)、アンモニアのめ)、アルシン(八ョ! ^ )、フオスフィン(ド^ )、ジボラン(巳汩め、四フッ化メタン(〇! ^ )、塩化水素( ! " 1 〇 0 、三塩化ホゥ素(巳 ...
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ハイテク周辺産業の参入戦略: 市場拡大への挑戦 - 35 ページ
エピタキシャルガスにはモノシラン、ジクロルシランおよび四塩化ケィ素などがある。モノシランは小松電子金属が最大手であるが、最近の需要拡大に伴って、本荘ケミ力ル、三井東圧化学、昭和電工、ティサンなどが新規参入してきている。年間需要悬は二十トン ...
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デンカ最近25年の步み: 電気化学工業株式会社創立85周年記念
電気化学工業株式会社創立85周年記念 Denki Kagaku Kōgyō Kabushiki Kaisha. Shashi Hensanshitsu. #新プラントは、当社が開発したモノシランの連絞製造プロセスに,エア,リキードグループの高純度モノシランの精製,充填,分析技術を結合して設計され, ...
Denki Kagaku Kōgyō Kabushiki Kaisha. Shashi Hensanshitsu, 2002
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Synthetic organic chemistry
齎々のモノシラン(たとえば-凹 8 園 5 買○ 1 . .幟湿翫句. 5 窶○ 10 ) .ジシラン.そしてポリシランなどが刷生ずる。したがって.現在においても反応遺択性の改害法に関する特許川が出されている。なお反応案に水繁ガスを吹き込み.メチルク咽苔ヒドシランを主 ...
Yūki Gōsei Kagaku Kyōkai, 1982
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図解入門よくわかる最新半導体の基本と仕組み: - 170 ページ
西久保靖彦. 6 - 4 薄膜はどのように形成するのか?ひ" " " " ' "ひ" " " 5102 分子が堆積して膜ができる胃ゥエ一八例えばポリシリコン堆積する場合の反応式 31!"14 〔モノシラン) 5! 2^2 堆積するポリシリコン'残りの気体化学触媒反応を促進する方法によって、熱 ...
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図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み: 製造装置の全体を俯瞰する
... 必要になります。常圧( :ゾロでも 400 で前後での成膜は可能ですが、パシベ一ション膜は水素の含有が必要であり、プラズマ〇VII が必要でした。プラズマ〇ゾ 0 で 7 (シベーション膜である 311 \ 1 を形成するには、原料ガスとしてら旧八モノシラン)と! \ 11 " !
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白色LED照明システム技術と応用 - 125 ページ
ドーパントとして用いたモノシランは^。の流量を変化させることにより障壁層中の 5;濃度を制御し(濃度 1016~1019 ^3),発光特性に与える影響を調べた。その結果を図 3 に示す。 5;滠度が 1017じ111- 3 後半で?し強度および 2 し出力が増加しており, ?しと 2 しと ...
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新エネルギ- 技術開発ビジョン: サンシャイン計画主要プロジェクトの新たなる展開
基礎物性,新材料製膜技術の研究開発を行い,また、これらの技術を最大限利用することにより,生産性向上,大面積,かつ,高効率ァモルファス太陽電池の研究開発及び低コストモノシラン製造技術の研究開発を行った。その結果,下記に示すよう中間目標達成の ...
工業技術院 (Japan). サンシャイン計画推進本部, 1985
«モノシラン» 단어를 포함하는 뉴스 기사
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大面積デバイスの連続製造、非真空と機織りで低コスト化
一般に，Siは酸化しやすく，原料となるモノシラン（SiH4）が猛毒で発火しやすいことから，真空チャンバで成膜している。今回は，チャンバの代わりに“ガス・カーテン”を使う。すなわち，Siの成膜部の周囲にガス流による壁を作って，周囲の空気から隔絶した疑似的 ... «Tech On!, 5월 13»
エボニック 四日市工場で発生した火災について発表
エボニック モノシラン ジャパン㈱四日市工場 被害状況： 人的被害なし。小型発電機1機焼損。 本文：325文字. エボニック 四日市工場で発生した火災について発表. 関連記事: ＪＳＲ Ｓ－ＳＢＲ（溶液重合ＳＢＲ）の生産能力増強を完了 · エボニック カーボンブラック ... «ゴムタイムスWEB, 6월 12»
【シリコーンゴム特集】各社新規グレード投入で需要喚起
モノシラン、太陽電池パネルに使用される端子ボックス用接着剤・ポッティング材を販売、さらにＥＶＡ代替品として発電効率や生産性向上のメリットがあるセル封止材の販売に注力中。 このほか、シリコーンゴムがキッチン用品の材料として市場で広く認知されてき ... «ゴムタイムスWEB, 10월 11»
産業用ガス(NF3、モノシラン等)の基...
電極動作の基礎とスラリーの調整/材... 鉛フリーはんだ実装の不良解析とそ... 高分子レオロジーの特性制御と成形... □. 産業用ガス(NF3、モノシラン等)の基... 基礎から学べるスリッター/リワイン... スクリーン印刷の不良発生メカニズ... 2/22◇開発教育入門講座. «EICネット, 2월 10»
スクリーン印刷の不良発生メカニズムの究明による装置・ペースト・部品 …
鉛フリーはんだ実装の不良解析とそ... 高分子レオロジーの特性制御と成形... 産業用ガス(NF3、モノシラン等)の基... 基礎から学べるスリッター/リワイン... □. スクリーン印刷の不良発生メカニズ... 2/22◇開発教育入門講座 · 【社会人向け】 改正省エネ法×都条. «EICネット, 2월 10»
