10 JAPANESE BOOKS RELATING TO «スパッタ»
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スパッタ in the following bibliographical selection. Books relating to
スパッタ and brief extracts from same to provide context of its use in Japanese literature.
じ 0 と 01 は非固溶系である力; ,同時スパッタにより強制固溶体を作製し,適度な熱処理を施し相分離させることによって, ( : "マトリックス中にナノサイズの 0)微粒子が析出,分散したナノグラニユラー薄膜を作製することができる。あるいは,適度に加熱した基板上に ...
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Denshi Gijutsu Sōgō Kenkyūjo kenkyū hōkoku
角)に亘つて一様に 501 ^ゃのイオンを照射し,続いて 41 ^乂乂 6 キによるスパッタエッチングを行ったときにエッチングされる深さを乂^照射量の関数として示してある。試料は通常の真空蒸着で作製している。この図で, 1.1 x101V ^ I112 の^ 3 + を照射した試料 ...
Denshi Gijutsu Sōgō Kenkyūjo, 1989
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図解入門よくわかる最新真空の基本と仕組み: - 68 ページ
(さ)スバッタイオンポンプスパッタイオンポンプは 1960 年頃から広く用いられるようになった超高真空用のポンプです。単にイオンボンプともいいます。スパッタイオンポンプの基本構造は、対向するチタン陰極と同軸に陽極(ステンレス鋼)が置かれ、軸方向に磁界を ...
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Denkigakkai zasshi: The Journal of the Institute of ...
1^0 621.793.12 : 621.385.12.032.212 : 621.3.015.532 グロ一放電におけるスパッタ日本電信電話公社岛き^一曰本電信锘話公社尸田禾 I 』治まえがき冷陰極放電管の寿命は陰極のスパッタによって决定される。スパッタによって極端な場合は陰極は侵食 ...
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図解入門よくわかる最新薄膜の基本と仕組み: - 77 ページ
1852- ―気相成長法「驪きレスパッタ法-化学的堆積法- -多元同時蒸着フラッシュ蒸アーク蒸発卜単純物理蒸着ョ法(多溫度法)レーザアブレーシヨン反応性スパッタ法同時スパッタ法^単純スパッタ法のじ闩ド) |「イオンビームスパッタ法 1 中性ビームスパッタ法 ...
8も 6 ヒほヒ 1- & 16 1-6 & 01^6 8?11^61~111 &)と呼ばれる反応性スパッタ法を用いた成膜の検討が進められているは。丁 39 スパッタ装置の概要を図 3 に示す。丁& 02 複合膜からなり, 3ぬ2,丁ぬ 2 各ターゲットの入力電力を制御することによって任意の ...
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日本金属学会誌 - 第 72 巻 - 119 ページ
また,粒界と粒内の突起物の分布も/ =0 , 3 ぉのときに比べると均一になっている,スパッタエッチング時間/二 3 , 6 ^ (くじ) , (ビ) )では,突起物は/ : 0 , 9 "のときよりさらに成長して 5 ^ 1111 くらいになっているものもある.このため,突起物の分布からは粒界が区別でき ...
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Journal - 第 82 巻、第 880～885 号 - 38 ページ
C の湿度花抑のスパッタによってできた光電池の特性を測定したところ・最適スパック時 III は高温から伏温になるにしたがい長く,最適スパッタ時間より長くても垣くても特性は急汝に悪化する。この原因を調べるため荘板とし" C たんざく形のガラス ...
Denki Gakkai (1888), 1962
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工業プロセス用調節弁の実技ハンドブック - 182 ページ
写真 11.3 調節弁本体内部で採取した異物溶接スパッタ、砂礫比較用シヤープペンシルの芯(ゅひぶ!^巾)なお写真 11.3 と写真 11.1、 11.2 は異なる調節弁から採取された異物である。写真 11.3 の左上の白い棒状の物体は、大きさ比較のために- 5 しこんだ ...
10 NEWS ITEMS WHICH INCLUDE THE TERM «スパッタ»
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スパッタ is used in the context of the following news items.
MarketReport.jp 「スパッタコーティングの世界市場予測」調査レポートを …
H&I（株）グローバルリサーチ事業部（本社：東京都中央区）は、この度、MarketsandMarketsが発行した「スパッタコーティングの世界市場予測」調査レポートの取扱・販売をMarketReport.jpサイト（取扱レポート数：15万件以上、日本最大級）にて開始しました。 «Dream News, Sep 15»
山口大、独自開発のスパッタ装置で基板を加熱せずＩＴＯ透明電極膜を作製
【山口】山口大学大学院理工学研究科の諸橋信一教授は独自開発のスパッタ（成膜）装置を使って、基板を加熱することなく低抵抗率・高透過率の「インジウム・スズ酸化膜（ＩＴＯ）透明電極膜」を作製した。ＬＥＤや太陽電池用の電極膜が高額で複雑な設備を使わず ... «日刊工業新聞, Sep 15»
キヤノントッキ、成膜速度を2倍に高めた電子デバイス向けスパッタ技術を …
キヤノントッキは5月27日、電子デバイス向けスパッタリング装置向けに、従来の円筒カソードと比較し、膜厚均一性を3ポイント向上となる±2.1%に向上させるとともに、成膜速度を2倍に高めることを可能とするスパッタリングシステム「RR(Reactive ... «マイナビニュース, May 15»
神戸製鋼所、成膜幅最大１６００ｍｍ対応のスパッタロールコータ生産機を …
神戸製鋼所は成膜するフィルムの幅を最大１６００ミリメートルまで対応できる新型スパッタロールコータ生産機「Ｗ６０Ｓ」を開発した。従来機のフィルム幅１３００ミリメートルから２割強広げた。広幅化により、省エネルギー目的で建材や自動車分野で需要が増加 ... «日刊工業新聞, Mar 15»
アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術 …
同技術は、「多種応用の異なった要求を同時満足する高性能の達成」、「LSI搭載可能の温度範囲でのプロセスの開発」、「高信頼性量産スパッタモジュールの実現」の3つを目標にして開発されたもの。独自技術の採用により、成膜温度はCMOSにも適用可能 ... «マイナビニュース, Mar 15»
ダイヘン、スパッタを１０分の１以下に低減し高速溶接も実現する産ロボ …
ダイヘンは４日、アーク溶接で発生するスパッタ（金属粉）を同社従来機比１０分の１以下に低減し、同２倍の高速溶接も実現する産業用ロボット搭載用システム「シンクロフィードＧＭＡ溶接ロボットパッケージ」を発売したと発表した。同社製ロボットを含めた価格 ... «日刊工業新聞, Mar 15»
チップマン、スパッタを高効率に除去する溶接ノズルクリーナー投入
チップマン（愛知県東郷町、草野和義社長、０５２・８０４・１８７１）は、溶接ノズルクリーナー「トーチステーションＴＳ―０１＝写真」を２月１日に発売する。半自動アーク溶接装置の溶接ノズル部にたまったスパッター（溶けた金属が飛散して固まった粒）を高効率に ... «日刊工業新聞, Jan 15»
パルススパッタリング法による非晶質基板上へのInGaN系フルカラー発光 …
大面積基板上にスパッタリングを行うなどの低コストなエピタキシャル成長プロセスを利用できれば、大面積InGaN発光ディスプレーを作製できるであろう。今回我々は、パルススパッタリング法で非晶質SiO2上にGaN (0001)膜とInGaN (0001)膜を成長し、多層 ... «Nature Asia, Aug 14»
LEDをガラス上に作製、東京大学がスパッタで実現
東京大学 生産技術研究所 教授の藤岡洋氏の研究室は、ガラス基板上にスパッタリング法で窒化ガリウム（GaN）結晶から成るLEDを形成する技術を開発した。 基板や結晶成長のコストが大幅に低下し、LEDの低価格化につながる可能性がある。さらに、大 ... «Tech On!, Jul 14»
「GaN-on-Siより安く、大面積LEDも可能」、東大がガラス基板上に …
「GaN-on-Siより安く、大面積LEDも可能」、東大がガラス基板上にスパッタでLEDを積層する技術を開発 ... 東京大学 生産技術研究所 教授の藤岡洋氏の研究室は2014年6月23日、ガラス基板上にスパッタ法でGaNに基づくLEDを形成する技術を開発したと ... «Tech On!, Jun 14»
