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図解入門よくわかる最新薄膜の基本と仕組み: - 77 ページ
1852- ―気相成長法「驪きレスパッタ法-化学的堆積法- -多元同時蒸着フラッシュ蒸アーク蒸発卜単純物理蒸着ョ法(多溫度法) ... スパッタ法イオンプレーテイング法「全イオン線法部分イオン線法クラスタイオン法イオンビーム蒸着法化学反応法熱分解法にゾ 0 ...
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高校化学からはじめる半導体 - 131 ページ
は,原材料として化合物をそのまま用いれば基板上にその膜を作製することができます.これは,構成元素のいずれもが蒸気圧が高いため,両方が蒸発し基板上に運ばれるためです.しかし,たとえば GaAs をそのまま蒸着しようとしても, Ga と As の蒸気 3-24 蒸着法 ...
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図解入門現場で役立つ機械設計の実務と心得 - 213 ページ
0 金属蒸著法蒸蕭法には、被覆金属をガスの化学反応で部品表面に付着堆積させる化学的蒸着法と、真空霜界中で被覆金属の溫度を上げ、イオン化させて部品に付着堆積させる物理的蒸着法があります。化学的方法では丁に、八 1203 を蒸着させることが ...
数を減らすために,あるいは,製品中心部まで均一に含浸,緻密化するような様々な工夫がなされている。コンポジットの物理的特性を向上させるため.炭素化工程の次に黒鉛化処理ひ,^〜3100000 をする場合が多い。 121 0ゾ0 法(化学気相蒸着法)メタン,プロパン ...
乂ひ法,プラズマツイントーチ溶射法,異種粒子同時プラズマ溶射法(単一卜ーチ減圧プラズマ法),気体輸送法,プラズマ浸炭法を,液相 ... 3.2 気相を用いた製法 3.2.1 じゾ0 法(化学蒸着法) ^0 (化学蒸着; (:ヒ^^(^ゾ即0『 06 口 05^010 法とは,金属や半金属を含む ...
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図解入門現場で役立つ金属材料の基本と仕組み - 209 ページ
10 ー 3 ~ 10 ー 1TOrr 基板(陰極)蒸着物質蒸発源(陽極)フィラメント○直流二極放電形イオンフレーティング(フラズマ法) )真空蒸着法 ... 真空蒸着法に比べてはるかに大きな工ネルギーで基板上に析出します。 ... し J $7%ʢԽֶৠணʣ๏ CVD(化学蒸着)法は、揮発性の金属化合物を低い温度で気化させ、これを高温に加熱された基板との接触反応 ...
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図解入門よくわかる最新金属の基本と仕組み: 性質、加工、生産、表面処理の基礎知識初歩から学ぶ金属の常識
大きく分けて、物理蒸着(「リロ)と化学蒸着にソロ)があります。蒸着物質は、金属だけでなく化合物も用います。 0 物理蒸着法(口ソロ) ^^^^^^^^^^^^^^物理蒸着は、真空槽内で蒸発物質を叩き出して処理金属の上に蒸着させる方法です。蒸着させるためには、 ...
山方三郎. 第 4 章一表面硬化・表面改質法 4-1 表面硬化処理の種類。. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152 4-2 浸炭技術の移り変わり、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155 4-3 目的に ... 166 4-7 浸炭室化処理法。 ... 198 4-19 プラズマ CVD (化学蒸着法○ )。
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図解入門よくわかる最新熱処理技術の基本と仕組み: 金属の資質を引き出す技術の基本を学ぶ
(物理蒸着法)と 0 ソ 0 (化学蒸着法)丁 I と! \ 12 の化合物を膜として最表面に密着形成たく異質の化合物を密着形成させ、先の諸性質を付加させることから、表面改質法と呼ばれています。各々、|長一短あります。用いる工具なら切削用か穴あけ用か、金型なら熱 ...
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図解入門よくわかる最新真空の基本と仕組み: - 155 ページ
3 図 5 , 1.1 :薄膜作成技術物理的方法化学旳方法真空蒸着一(反応性蒸着)ス八"ッタリング抵抗加熱法誘導加熱法電子ビーム加熱法|直流法^高周波法(反応性スパッタリング)マグネ卜ロン方式物理化学的一" |方法イオンブレーティング(反応性イオンプレー ...
